在多晶硅的生產(chǎn)過程中，鹽類廢水處理是一重要的環(huán)節(jié)。

在生產(chǎn)多晶硅的過程中，通常會產(chǎn)生大量的廢氣和殘液。廢氣中主要含有大量的HCI、SiHCls、Cl2、SiCl、H、N等氣體，而殘液中主要含有氯化烷和微量硅粉。
由于氯硅烷極易容易水解，通常采用稀的氫氧化鈉溶液淋洗氯硅烷殘液和氯硅烷氣體，還有少量的氯化氫，使氯硅烷和氯化氫全部水解中和，生成氯化鈉和硅膠的混合物。硅膠在經(jīng)過攪拌機攪拌后通過渣漿泵被送去壓濾機進行固液分離操作，濾渣運送到渣場統(tǒng)一堆放。

分離出的硅膠經(jīng)刮板機刮出后送入污泥收集池，之后再用潛水式污泥泵將沉底的硅膠打入到攪拌池內(nèi)，經(jīng)攪拌后被送入到壓濾機在進行固液的分離。
去除掉硅膠的工業(yè)廢水是鹽類廢水，這些廢水一般呈酸性，酸堿度值大約為2。

廢水經(jīng)過酸堿中和，之后經(jīng)蒸發(fā)，結晶，過濾把鹽類提取出來。經(jīng)過處理后的水會返回到生產(chǎn)中循環(huán)使用。

在鹽類廢水處理時常用薄膜蒸發(fā)器，三效蒸發(fā)器和四效蒸發(fā)器等設備用于鹽類的蒸發(fā)濃縮，利用蒸發(fā)濃縮的原理，將廢水中的水分蒸發(fā)掉，鹽類中NaCl顆粒結晶析出，在經(jīng)過過濾操作使廢水和NaCl分離。蒸發(fā)出來的水蒸氣外排掉或者經(jīng)過冷凝回流到生產(chǎn)裝置中實現(xiàn)循環(huán)利用。